Los Analizadores de Gas Residual (RGA) de las Series LC-D son construidos de materiales compatibles con los sistemas ultra-vacío (UHV) y diseñados para requerir el mínimo de mantenimiento.
Este analizador versátil es idealmente apropiado para el uso con sistemas UHV,
monitoreo de equipos semiconductores y procesos de película delgada en el rango de un gran vacío
